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羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的泵,通常壓縮比很低,故高、中泵需要前級(jí)泵。
靠泵腔內(nèi)一對(duì)葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的泵。
羅茨泵是指具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸,間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積,加工精度易于轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);真空:單級(jí)為6.5×102帕,雙級(jí)為1×103帕。
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